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品名 英文名 分子式 級別 詳情信息
UPSSS UPSS UPS EL CP IN
硫酸 sulfuric acid H?SO? 點擊查看
* IN工業級
* CP化學純級
* EL等同于于美國SEMI G1標準,可控制顆粒物(依需求),控制十多種金屬元素,單項金屬元素控制在300ppb以下。
* UPS等同于美國SEMI G3標準,可控制顆粒物(依需求),控制三十多種金屬元素,單項金屬元素控制在1ppb以下。
* UPSS等同于美國SEMI G4標準,可控制顆粒物(依需求),控制三十多種金屬元素,單項金屬元素控制在0.1ppb以下。
* UPSSS優于美國SEMI G5標準,可控制顆粒物(依需求),控制三十多種金屬元素,單項金屬元素控制在0.01ppb以下。
*表示注解
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